分享好友 行业头条首页 频道列表

清华团队开发出超高感光度双光子光刻胶丨科创要闻

2023-10-26 18:31720


 

数字时代,半导体是数据存储、计算、传输的基石,各国纷纷把半导体行业的制造、科研列为重中之重,更有各种对于前沿技术和先进产品的出口限制,基于技术制衡的合纵连横,长远看,科学家们才是真正彻底改变游戏规则的人。
南方周末研究员 罗仙仙




10月19日,清华大学官网发布消息称,该校核能与新能源技术研究院新型能源与材料化学团队,首次提出高效光致极性变化调控光刻胶溶解度机制,并据此开发成功了一种基于金属氧化物纳米颗粒的超高感光度双光子光刻胶。

经测试,采用这种光刻胶的双光子打印速率达到了7.77m/s。这是全球首次将光刻速度提高到米/秒级别,比传统的聚合物基光刻胶快了3-5个数量级;此外,采用这款光刻胶还实现了极高的打印分辨率,曝光线条的线宽能够小至38nm,优于深紫外(DUV)浸没式光刻技术的线宽极限。

10月2日,该研究成果发表在《自然·纳米技术》(Nature Nanotechnology),题为《可实现超高速增材制造打印的光刻胶》(Ultrahigh-printing-speed photoresists for additive manufacturing)。

该研究成果技术大幅缩短了双光子光刻制造所需的时间,且显著提高了其加工分辨率,有望实现双光子光刻技术在微纳制造领域的大规模实际应用。该技术极大地降低光刻机的复杂程度、体积和制造运行成本,也有望为半导体集成电路芯片制造开辟全新的低成本技术路线。

数字时代,半导体是数据存储、计算、传输的基石,各国纷纷把半导体行业的制造、科研列为重中之重,更有各种对于前沿技术和先进产品的出口限制,基于技术制衡的合纵连横,长远看,科学家们才是真正彻底改变游戏规则的人。

数字智能
01 中国规模最大的类脑计算机“问天I”发布

10月17日,中科南京智能研究所发布自主研发的“问天I”类脑计算机,这是目前中国规模最大的类脑计算机,可实现5亿神经元2500亿突触智能规模,突触规模位居全球第二,较现有计算系统能效提升10倍以上;以该研究院开发应用的“问天”智慧交通系统为例,面对南京市交通路网规模,对比强化学习
    

免责声明:凡注明来源本网的所有作品,均为本网合法拥有版权或有权使用的作品,欢迎转载,注明出处。非本网作品均来自互联网,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责。
反对 0
举报 0
收藏 0
打赏 0
评论 0
同类
对话ASML中国区总裁沈波:光刻机为什么那么难?
◎“我们自己看来,先进制程芯片从数量上讲是相对较小的,绝大多数是成熟制程芯片。对于中国来讲,这么大终端市场需求推动下,把最大头成熟制程芯片做到非常具有竞争力的水平,对咱们这个行业来讲是最高效的,可以达

0评论2023-11-06210

OpenAI首届开发者大会即将召开,ChatGPT将公布重大更新;马斯克旗下xAI推出首款AI助手Grok;图灵奖得主Yoshua Bengio:不能让少数科技公司来制定AI规则;俄罗斯宣布正生产光刻
1、OpenAI 首届开发者大会即将召开,ChatGPT 将公布重大更新OpenAI 首届开发者大会即将于当地时间 11 月 6 日(北京时间 11 月 7 日)召开,据报道,OpenAI 将公布 ChatGPT 的重大更新,包括全新的界面和新功能:自

0评论2023-11-06218

11月6日光刻机(胶)板块涨幅达2%
11月6日13点10分,光刻机(胶)板块指数报2338.248点,涨幅达2%,成交127.98亿元,换手率2.72%。板块个股中,涨幅最大的前5个股为:东方嘉盛报34.27元,涨10.02%;强力新材报14.48元,涨6.86%;江化微报17.58元,涨5.3

0评论2023-11-06216

光刻机板块异动拉升 东方中科涨停
南方财经11月6日电,早盘光刻机板块异动拉升,东方中科涨停,海立股份触及涨停,江化微、腾景科技涨超6%,安泰科技、福晶科技、瑞联新材等涨幅靠前。

0评论2023-11-06205

荷兰光刻机巨头阿斯麦:到2023年底ASML在中国的光刻机加上量测的机台装机量接近1400台
钛媒体App 11月6日消息,荷兰光刻机巨头阿斯麦全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示,从1988年首台机器运到中国,到2023年底,ASML在中国的光刻机加上量测的机台装机量接近1400台。“实际上我们这些年在中国的成长幅

0评论2023-11-06228

我来说两句
抢沙发
 
已经到底线啦