对话ASML中国区总裁沈波：光刻机为什么那么难？

     
◎“我们自己看来，先进制程芯片从数量上讲是相对较小的，绝大多数是成熟制程芯片。对于中国来讲，这么大终端市场需求推动下，把最大头成熟制程芯片做到非常具有竞争力的水平，对咱们这个行业来讲是最高效的，可以达到一个事半功倍的效果，有助于提高投入产出比。”

◎“成熟制程这个领域里面，能把中国的成熟制程做到全世界非常具有竞争力的水平，可能在未来相当长的一段时间里面大家还有大量的工作要做。尤其是在现在这种大环境下，从产业链的各个环节来看都需要一起通力合作。”

每经记者 朱成祥    每经编辑 梁枭    

在第六届进博会开幕前夕，“光刻巨人”ASML（阿斯麦）于10月26日在上海张江举行展前沟通会。ASML全球副总裁、中国区总裁沈波接受了《每日经济新闻》记者在内的媒体群访。

沈波首先讲述了ASML参展进博会的亮点。这是ASML第五次参加进博会，其将以“光刻未来，携手同行”为主题，亮相国家会展中心技术装备区集成电路专区。

光刻机难在何处？
关于进博会展出情况，沈波表示：“平时公司大多（数）设备产品都放在洁净室，对环境的要求非常高。因此，我们只能让大家，通过各种虚拟的方式感受ASML的产品，包括产品的工作方式。”

他表示：“今年我们展台分为三块，中间这一块希望着重地让大家理解芯片制造全流程和ASML的全景光刻解决方案。我们希望通过进博会平台，让大家对ASML有一个更客观、更全面的认识。着力让大家理解，在芯片厂里面，ASML能够帮客户做什么。”

对于光刻机为什么这么难？沈波表示：“我们的光刻机每小时能处理多达300余片晶圆，每一片晶圆可能在光刻机中曝光时间只有十几秒。这十几秒，机器要把所有的曝光完成。其中，在一片晶圆上，根据产品种类和设计的差异需要产生100束光左右，每一束光都会有区别，并且在实时调整。这个过程是非常复杂、非常精细的。”