纵观全球光刻机市场,荷兰ASML公司一家独大,这家公司掌握EUV光刻机量产能力,也是唯一能生产EUV光刻机的公司,市场份额达到100%。其余的光刻机厂商只能在DUV制程领域开展竞争,而要想获得EUV光刻机,只能靠自己。
让人感到提气的是,中科院传来消息,由长春光机所牵头研发的EUV光源工程样机取得突破,国产光刻机告别“自嗨”。
由于EUV光刻机只有ASML能制造,这给了ASML很大的自信,一度扬言就算提供图纸,别人也造不出来。
实际上ASML说出这番话是有原因的,就好比食品配料表,虽然都把所有的配料都印在包装上,但如果没有掌握相关生产线工艺,对材料进行加工制造的话,是无法生产出同样食品的。
同样的道理,EUV光刻机就算公布图纸,没有完善的产业链,工艺技术照样很难生产出来。
生产高端EUV光刻机究竟有多难呢?这需要具备多个方面的专业知识和技能,包括光学、机械、电子、计算机等。因此,制造高端光刻机的难度非常大。
首先高端光刻机需要具备非常高的精度和稳定性,能够在纳米级别上进行加工。这需要光学元件、机械结构、电子控制等方面的技术达到非常高的水平。
其次高端光刻机需要具备强大的计算和控制能力,能够快速而准确地进行图像处理和位置控制。这需要在硬件和软件两个方面进行深入的研究和开发。另外制造高端光刻机还需要具备一定的生产能力和规模,以保证产品的质量和稳定性。