光刻机是芯片制造的核心设备,也是美方对中国半导体产业的最大制裁武器。自特朗普时代开始,美方就一直”百般操弄”荷方,限制它的科企ASML向中方出口最先进的EUV光刻机,以期打击中国的芯片发展。然而,这一政策在拜登上台后并没有改变,反而更加升级。近期,美方还拉拢日方和荷方达成了一项协议,将部分DUV光刻机也纳入了禁售清单。这一举动引起了ASML的不满,也让中国官方发出了强烈的回应。
DUV光刻机虽然不如EUV光刻机那样能够制造出最先进的芯片,但它仍然是市场上的主力军。因为大部分的智能产品,如智能汽车、智能家电等,都只需要使用28nm及以上的成熟工艺芯片,而这些芯片都可以用DUV光刻机来生产。去年全球爆发了缺芯潮,缺的也主要是这些成熟工艺的芯片。因此,DUV光刻机对于中国芯片产业来说,是非常重要的。
美方之所以要禁止DUV光刻机出口中方,主要是出于两个目的:一是想要削弱中方在成熟工艺芯片上的竞争力,二是想要阻碍中方在先进工艺芯片上的突破。因为如果没有足够的DUV光刻机来支撑成熟工艺芯片的生产,中方就很难有余力去投入到EUV光刻机的研发和引进上。而如果没有EUV光刻机来制造出最先进的芯片,中方就很难在高端市场上与美方抗衡。
然而,美方这一计谋并没有得逞。首先,ASML作为世界上最大的光刻机大厂,对于中国市场非常看重。ASML与中方合作早已历经数十载,也有着众多的忠实客户。ASML不愿意因为美方的政治干预而失去这个巨大的市场。因此,在美日荷达成协议后,ASML就立即向外界表明了己方立场:一方面强调2023年收入不受影响,另一方面通知客户仍能达到成熟制程芯片制造要求。ASML还在一份紧急声明中表示,并非所有DUV光刻机均受到约束,仍能满足顾客对成熟芯片制程之要求。
其次,中国官方也对美日荷协议做出了有力的回应。今年3月27日,中方牵头举办了经济发展高层论坛和峰会。最重要的是,本次峰会上,中方高层和ASML CEO温宁克会见,中方表示,在中国市场上,愿意为ASML等跨国公司营造良好商业环境,并且希望ASML能够增强贸易和投资合作的信心,一起保持全球芯片产业链的稳定性。中方高层人士的,无异于是ASML的“定心丸”,使ASML能够安心地参与到中国市场的合作中来,为推动双方合作再接再厉。