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投资者:您好!请问公司电源有没有在光刻机相关设备内使用?英杰电气董秘:您好!据我们了解,光刻机的技术难点主要体现在光学技术上,公司当前研发的包括射频电源在内的各类应用于半导体行业的电源,主要应用在半导
投资者:您好!请问公司电源有没有在光刻机相关设备内使用? 英杰电气董秘:您好!据我们了解,光刻机的技术难点主要体现在光学技术上,公司当前研发的包括射频电源在内的各类应用于半导体行业的电源,主要应用在半导体芯片的刻蚀、薄膜沉积、等离子注入、清洗、去胶这些工序环节以及半导体材料制造设备上,光伏电池片行业也有射频电源的运用,谢谢您的关注。
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