清华大学2017年开启的SSMB-EUV光源项目在全球来看仍是一项前沿的光学技术研究。目前仅从原理上验证了SSMB光源可应用于EUV，距离真正能用于光刻系统仍有距离
资料图：北京，怀柔科学城高能同步辐射光源项目。近日，国家开发投资集团下属中国电子工程设计院有限公司发声明称，短视频平台热传的“国产光刻机工厂”项目配图为该院在北京怀柔建设的北京高能同步辐射光源项目（HEPS）。图：视觉中国
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【财新网】受到网络热炒的“国产光刻机工厂”被证实是一场乌龙。近日，国家开发投资集团下属中国电子工程设计院有限公司（下称“中国电子院”）发声明称，短视频平台热传的“国产光刻机工厂”项目配图为该院在北京怀柔建设的北京高能同步辐射光源项目（HEPS）。该项目是国家“十三五”重大科技基础设施，是中国第一台高能量同比辐射光源，2019年就开始了建设，将于2025年投入使用。
据中国电子院介绍，HEPS项目是通过加速器将电子束加速到6GeV（十亿电子福特，能量单位），然后注入周长1360米的储存环以光速维持运转，电子束在储存环的不同位置会沿偏转轨道切线的方向，释放出稳定、高能量、高亮度的光，即同步辐射光。同步辐射光可穿透物质、深入内部进行立体扫描，从分子、原子的尺度观察微观世界，相当于一台巨型X光机，而并不是网传的光刻机工厂。
